《半导体硅材料基础》是2009年07月化学工业出版社出版的图书,作者是尹建华。
《半片材接销考导体硅材料基础》系统地介绍了半导体硅材料的基本性质、与半导体晶体材料相关的晶体几何学、能带理论、微电子学方面的基础理论知识,系统地介绍了作为光伏技术应用的硅材料的制备基础理论知识,为系统学习多晶硅生产技术和单晶硅及硅片加工技术奠火目阶车纪改属项量定理论基础,是硅材料技术专业的核心教材。
爱源《半导体硅材料基础》可作为高职高专硅材料技术及光伏专业的教材,同时也可作为中专、技校和从事单晶硅生产的企业员工的培训教材,还可供相关专业工程技术人员学习参考。
第1章概论1
11硅材料工业的发展1
12半导体市场及发展2
13中国扩建新建多晶硅厂应注意的问题3
本章小结5
习题5
第2章半导体材料基本性质6
21半导体材管菜派纪双烟谈单附怕科料的分类及性质6
22硅的物理化学性质8
真跳都触组树 23硅材料的纯度及多晶硅标准10
本章迅持批货胡早手空小结11
习题12
第3章晶体几何学基础13
31晶体结构13
32晶向指数16
33晶面指数16
34立方晶体17
35金刚石和硅晶体结构19
36倒格子22
本章小结22
习题23
第4章晶体缺陷24
41点缺陷24
42线缺陷26
43面缺陷30
44体缺陷31
本章小结32
习题32
第5章能带理论基础33
51能带理论的引入33
52半导体中危扬白除甚标组款年斤脸的载流子35
5来自3杂质能级36
54缺陷能级38
55直接能隙360百科与间接能隙38
56热平衡下的载流子39
本章小结45
习题45
第6章pn结46
61pn结的形成46
62pn结衣思渐合可取煤格里铁的制备47
63pn结的能带结构48
64p级之科盾划居简并站即直n结的特性49
本章小结50
习题50
第7章金属半导体接触和MIS结构51
71金属半导体接触51
72欧姆接重维区跑度来触55
73金属绝缘层什静所若半导体结构(MIS)56
伤航千 本章小结57
习题57
第8章多晶硅材料的制取58
81冶金级硅材料的制取58
82高纯多晶硅的制取59
83太阳局化曲成能级多晶硅的制取61
协长 本章小结62
习题6画获总劳立能2
第9章单晶硅的制备63
91结晶学基础63
92晶核的形成65
93区熔法69
94直拉法72
95杂质分凝和氧污染80
96直拉硅中的碳85
97直拉硅中的金属杂质86
98磁拉法(MCz)89
99CC春冲杀z法(连续加料法)9溶门责讲夜乐永销丝例离3
本章小结96
习题97
第10章其他形态的硅材料98
101铸造多晶硅98
102带空探员益协皇伯某叶状硅材料110
103非晶硅薄膜112
104多晶硅薄膜116
本章小结118
习题119
第11章化合物半导体材料120
111化合物半导体材料特性120
112砷化镓(GaAs)122
本章小结131
习题131
第12章硅材料的加工132
121切去头尾132
122外径滚磨133
123磨定位面(槽)134
124切片136
125倒角(或称圆边)139
126研磨140
127腐蚀142
128抛光144
129清洗148
本章小结150
习题151
附录152
附录1常用物理量152
附录2一些杂质元素在硅中的平衡分凝系数、溶解度152
参考文献153