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半导体器件新工艺

《半导体器件新工艺》是2008年科学出版社出版的图书,作者是梁瑞林。

  • 书名 半导体器件新工艺
  • 作者 梁瑞林
  • 出版社 科学出版社
  • 出版时间 2008年04月
  • 定价 23 元

内容简介

  本书主要介绍了单品硅圆片的加工技术境音,大规模集成电路的设计制版、芯片加工与封装检修技术,多种类型的半导体材料与器件的应用,及其未来的展望等内容。

图书目录

  第一章 概述

  第二章 单品硅圆片

  第三章 大规模集成电路的设计制版

  第四章 大规模集成电路的芯片加工

  第五章 大规模集成电路的封装与检验

  第六章 多种类家杀和齐型的半导体材料

  第七章 半导体材料与器件的未来展望

  ……

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