蚀坑,半导体硅材料表面的一种微缺陷。呈三角形。
蚀坑
半导体硅材料表面的一种微缺陷。
久距讲精从挥蚀坑
是硅抛光移议机架由加只劳友在-100度高温处理后,再用化学腐蚀在表面出现的高密度腐蚀坑,使光滑的表面变成雾状,因此得名。
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