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蚀坑

蚀坑,半导体硅材料表面的一种微缺陷。呈三角形。

  • 中文名称 蚀坑
  • 类别 专业名词
  • 相关领域 半导体硅
  • 相关学科 生产工艺

基本信息

  蚀坑

  半导体硅材料表面的一种微缺陷。

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  是硅抛光移议机架由加只劳友在-100度高温处理后,再用化学腐蚀在表面出现的高密度腐蚀坑,使光滑的表面变成雾状,因此得名。

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